ʻO ka pahu pahu pahu pahu
Hōʻike huahana
Metala Rotary Target
Hoʻohana ʻia nā māla magnetic a me ka uila ma waena o ka pahu sputtering (cathode) a me ka anode.A hoʻopiha i ke kinoea inert i koi ʻia (maʻamau Ar kinoea) i loko o ke keʻena maloʻo kiʻekiʻe.Ma lalo o ka hana a ke kahua uila, ua hoʻopili ʻia ke kinoea Ar i loko o nā ion a me nā electrons.Hoʻopili ʻia kekahi volta kiʻekiʻe maikaʻi ʻole i ka pahuhopu, ua hoʻopili ʻia nā electrons i hoʻokuʻu ʻia e ka mea i hoʻopaʻa ʻia e ka māla magnetic, piʻi ka ionization probability o ke kinoea hana, ua hoʻokumu ʻia kahi plasma kiʻekiʻe kokoke i ka cathode, a ua pili nā Ar ion. e ka pūʻali Lorentz.A laila, e holo wikiwiki i ka lele ʻana i ka ʻili i hoʻopaʻa ʻia, a bombard i ka ʻili i hoʻopaʻa ʻia ma ke kiʻekiʻe wikiwiki, no laila e hahai nā sputtered atoms ma ka pahu hopu i ka loina o ka hoʻololi ʻana i ka manawa, lele mai ka ʻili i ka substrate, a waiho i kahi kiʻi ʻoniʻoni kinetic kiʻekiʻe.
I mea e hoʻomaikaʻi hou ai i ka nui o ka hoʻohana ʻana i ka mea i manaʻo ʻia, ua hoʻolālā ʻia kahi cathode rotating me ka ʻoi aku ka maikaʻi o ka hoʻohana ʻana, a ua hoʻohana ʻia kahi mea pahu pahu no ka uhi ʻana i ka sputtering.ʻO ka hoʻomaikaʻi ʻana i nā lako sputtering pono e hoʻololi ʻia ka pahuhopu mai kahi ʻano pālahalaha i kahi ʻano tubular, a ʻo ka nui o ka hoʻohana ʻana o ka pahu hoʻololi tubular hiki ke kiʻekiʻe e like me 70%, ʻo ia ka mea e hoʻoponopono nui ai i ka pilikia o ka hoʻohana haʻahaʻa ʻana o ka pahuhopu palahalaha.
| inoa huahana | ʻO ka pahu pahu pahu pahu |
| Mea waiwai | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
| Nui kuai wela | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm Hiki ke hana ʻia e like me nā koi kikoʻī o nā mea kūʻai aku |
| MOQ | 3 apana |
| Pūʻolo | Ply lāʻau pahu |
Nānā: Hoʻopuka nui mākou i nā pahu pahu like ʻole, e ʻoluʻolu e nīnau mai iā mākou no nā kikoʻī.
Palapala noi
He ʻano hou ka uhi ʻana i ka mahu kino.Hoʻohālikelike ʻia me ke ʻano o ka uhi ʻana o ka evaporation, loaʻa iā ia nā pōmaikaʻi
ma nā ʻano he nui.Ua hoʻohana ʻia nā pahu sputtering metala ma nā kahua he nui.ʻO ka noi nui o ka pahu hopu.
■pūnaewele lā
■aniani hoʻolālā
■aniani kaʻa
■Semiconductor
■TV pāpaʻa, etc
ʻIke Kauoha
Pono nā nīnau a me nā kauoha e komo i kēia mau ʻike:
☑Nā kikoʻī kikoʻī ID×OD×L (mm).
☑Ka nui e pono ai.
☑E ʻoluʻolu e kelepona mai iā mākou no nā pono kūikawā hou aʻe.
